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Model 5290
電極クリーニング頻度低減と クリーン清浄度はクラスNo.1!
ガスジェットエアロバーはクリーンドライエアーまたは、窒素ガスで電極の周囲を常に覆うことにより雰囲気中のガスやパーティクルなどから電極を保護し、ガス粒子変換によるシリカ成分の析出やパーティクルなどが電極に付着することを低減することができます。
また、ガスジェットエアロバーの電極はウルトラクリーン単結晶シリコン電極もしくはチタン電極を装備しており、クリーンルーム清浄度クラスに対応しています。
アラーム機能
ガスジェットエアロバーはシステムアラーム機能を内蔵しており、システムに異常が生じた場合はアラームLEDを表示し、いちはやく検知することができます。
ガスジェットエアロバーのエアーパージ
ガスジェットエアロバーはパルスDC方式を採用しており、イオナイザから発生したイオンを効率よく除電対象物まで供給することができます。
また、プラス・マイナスの各電極周囲に窒素ガスまたはクリーンドライエアーを供給し、電極と周囲の環境(汚染源)から隔離します。ガスの吹き出し流量は吹き出し口の特殊オリフィス採用により自動的に調節されます。
性能
除電時間：20秒以内(距離500mm)
(±1000V →±100V)
※テストはESD協会のANSIEOS/ESD 3.1-1991イオン化基準に従って、帯電プレートモニターを用いて行いました。 |