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Model 4630
局所空間の除電に効果的
クアッドバー4630は、ミニエンバイロメントまたは、装置内に設置し静電気を中和するコロナ放電タイプの対象物との距離約75mmでも良好なイオンバランスで使用できます。また装置内の狭い空間に適応できるよコンパクトにデザインされております。オプションのFMS5090により制御装置や設備モニタリングシステム(FMS)への信号出力が可能です。
Iso Statテクノロジー
Iso Stat テクノロジーは、複雑なフィードバック回路を用いることなく、イオンバランスを常に一定に保つ先進の技術です。この技術の採用によって煩雑な調整の必要がなくローメンテナンスを実現しました。
性能
イオンバランス：150mm距離で±50V以内
除電時間：300mm距離で30 秒以内(±1000V →±10 0 V )
※テストはESD 協会のANSIEOS/ESD 3.1-1991イオン化基準に従って、帯電プレートモニターを用いて行いました。
主なアプリケーション
●装置ローダーアンローダー●AGV搬送●ミニエンバイロメント
●ストッカローダー●ステッパレチクルポート |