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日本SIMCOION空间除静电器4214
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产品名称:
日本SIMCOION空间除静电器4214
产品型号:
4214
产品厂商:
SIMCO思美高
产品文档:
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简单介绍
日本SIMCOION空间除静电器4214
负离子4214模型（离子系统制造），可以实现一个良好的离子平衡，对应延长ISO Class1，10nm的”高纯度氮气离子系统。
日本SIMCOION空间除静电器4214
的详细介绍
対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214
负离子4214模型（离子系统制造），可以实现一个良好的离子平衡，对应延长ISO Class1，10nm的”高纯度氮气离子系统。
· 采用单结晶硅电极支持超低粒子。
· 确保一个稳定的长期自身机制的清洁不干净颗粒释放到外部
· 采用智能控制电路，不需要任何调整
· 离子一代不断监测传感器的内部器官，取得了一定的电离
· 内置的集成电源控制器的设计紧凑
· 在低流量，高电压自动关机功能保护产品
· *适合超低粒子半导体制造工艺的**
· 24V直流驱动器
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输入电压
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24V DC + / -5％6W典型。
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离子平衡
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<+ /-25V无40LPM距离150毫米管道连接
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放电时间
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<10秒，无管道连接40LPM距离150毫米
+ /-1KV→/ - 100V充电平板显示器
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离子生成方法
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高频交流电晕放电法
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卫生
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ISO Class1的，“的ISO Class1的，10nm的延伸”0.1微米*
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电极
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可以更换单晶硅
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支持吹扫气体
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N2> 99.998％
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流
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40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa）
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*大压力吹扫
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（流量= 100LPM）207Kpa
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*大的气体温度
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60degÇ
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氮气吹扫连接
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水暖Swagelok3 / 8“OD
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N2连接电离
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1/4NPT内螺纹连接选项或联合
管道连接Swagelok1 / 2“外径28-25710-SC
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工作温度范围
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15〜60degç
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信号输出
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打开/关闭，离子产量下降的报警和接触
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维
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的深度72.4毫米x152.4毫米x 32毫米宽长度的
管段不包括在内
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重量
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640克
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外观
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不锈钢
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安装方法
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长度超过10mm M5 Nejineji回少
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