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日本SIMCOION除静电离子风机5810
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产品名称:
日本SIMCOION除静电离子风机5810
产品型号:
5810
产品厂商:
SIMCO思美高
产品文档:
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简单介绍
日本SIMCOION除静电离子风机5810
5810i电离鼓风机系统模型（离子系统制造）是一款高性能离子风机传感器，适用于严格的管理过程中的静电离子系统相结合的离子平衡+ /-1V。
日本SIMCOION除静电离子风机5810
的详细介绍
+/-1v 电离鼓风机系统模型 5810
5810i电离鼓风机系统模型（离子系统制造）是一款高性能离子风机传感器，适用于严格的管理过程中的静电离子系统相结合的离子平衡+ /-1V。
· 在与外部传感器（NOVX 3150/3350/3360/7000）成绩（+ /-3V，在没有外部传感器）+ /-1V高精度离子平衡组合
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在洁净室应用在设计相应的清洁（FED STD 209E 10级）ISO CLASS4高度清洁功能的高5802i，5810i，5822i电离鼓风机模型设计
· 通过控制离子平衡的长期维护它自己的自动循环
· 风扇停止报警设备
· 可选的自动电极清洁机制
· 高可靠性和地方的支持被证明在万维网交付数量
· 可选不锈钢外壳
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输入电压
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100-240V AC + / -10％50/60HZ
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外观
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SUS或环氧/聚酯粉末涂料在铝
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离子生成方法
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直流稳态法
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电极
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8钛/风扇
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风量
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144cfm典型/风扇风扇转速=高
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放电时间
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<距离3秒。45厘米0.1千伏→100V。晶圆厂速度=高
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离子平衡
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<+ /-1V典型+ /-3V（外部传感器）（无外部传感器）
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维
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-32：155毫米x深96毫米x高813毫米长度
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-40：155毫米x深96毫米x高1016毫米长度
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-44：155毫米x深96毫米x高1118毫米长度
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重量
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4.6公斤全铝车身规格：-44
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SUS的6.9公斤体重规格：-44
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