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SIMCOION対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214
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产品名称:
SIMCOION対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214
产品型号:
4214
产品厂商:
SIMCO思美高
产品文档:
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简单介绍
4214静电消除器是一款即使在N2的环境下也可以对应“延长ISO Class1,10nm”的高清洁静电消除器，以达到更好的离子平衡效果。
SIMCOION対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214
的详细介绍
SIMCOION対応延长ISO Class1,10nm高纯度氮气离子系统4214
4214静电消除器是一款即使在N2的环境下也可以对应“延长ISO Class1,10nm”的高清洁静电消除器，以达到更好的离子平衡效果。
· 采用对应超低颗粒的单结晶硅电极。
· 通过自身的清洁机构，超低颗粒不释放到外部，以确保长时间清洁度的稳定。
· 采用智能控制电路，不需要任何调整。
· 内置传感器可随时监测离子发生情况，以达到良好的除电效果。
· 控制器和电源内置的紧湊一体型设计。
· 当低流量时，高电压自动切断机能而达到产品的保护。
· *适合先端半导体制造工程情况下的超低颗粒。
· 24V DC驱动。
规格
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输入电压
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24V DC+/-5% 6W Typ.
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离子平衡
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<+/-25V 150mm距离 40LPM配管接口 无
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放电时间
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10sec 150mm 距离 40LPM配管接口 无
通过带电平板显示器 +/-1kv → +/- 100v
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离子生成方法
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高频电晕放电式 高频率AC式
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清洁度
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ISO Class1,0.1 micron"延长ISO Class1,10nm"*
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电极
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单晶硅 可换
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对应气流
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N2> 99.998％
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流量
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40LPM（36.5Kpa）〜90LPM（171kpa）
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*大气压
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（流量= 100LPM）207Kpa
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*大气体温度
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60degÇ
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氮气接口
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Swagelok3/8" OD 配管
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离子化氮气接口
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1/4NPT内螺纹连接器 或 通过联合选项28-25710-SC接续 Swagelok1/2"OD配管
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工作温度范围
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15〜60degç
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信号输出
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通过Open/Close接点，报警及离子输出减少
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尺寸
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长152.4mm*宽72.4mm*高32mm
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重量
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640g
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外观
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不锈钢
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安装方法
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内部为M5的螺丝，螺丝长不足10mm
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关于“延长ISO Class1,10nm”
为了应对微小型颗料，基于ION Systems而自定的清洁度的定度。ISO14644-1是*小粒径在100nm的定义。ISO Class1,10nm用了和ISO14644-1一样的容许颗粒数的计算方式。这个容许颗料数在粒径为10nm以下1200pc/ m3(34 pc/ft3)。