光がガス分子を直接イオン化し除電する強力で小型の軟X線照射除電装置です。光照射除電方式は発塵が全く無く、電磁ノイズもほとんど発生しません。また、ガスの流動状態に関係なく安定した除電性能が得られます。N2、Ar等の不活性ガス中での除電も可能です。
- 一般大気中にあるウエハなどの帯電電位を1/10まで減衰するのに1S以内の短時間で除電します。
- ガスの流動状態に関係なく安定した除電効果が得られます。光に照射されている空間で広範囲にガスをイオン化しているため、除電対象物近傍に不均一な気流が存在しても除電性能は影響を受けません。
- 日常のメンテナンスは、一切必要ありません。軟X線管ヘッドの寿命（平均8000h）による交換のみです。
- 正負のイオンおよび電子が空間に均一に分布するため除電対象物の残留電位を0Vにすることができます。
- 光がガス分子を直接イオン化しますので、大気圧下ならばN2、Arなどの不活性ガス中での除電も可能です。
- 光照射方式によるイオン化システムのため発塵が全く無く、電磁ノイズもほとんど発生しません。
- 高いエネルギーの光によって空気中の酸素分子も速やかにイオン化するため、オゾンがほとんど生成されません。
- 本システムを構成する機器は、軟X線管ヘッドとパワーユニットの2点だけで、製造装置や搬送系への取り付けが容易です。